反射式高能電子繞射儀是深圳世紀芯開發的, 其重點是逆向研究和開發 電路板, 等., 在破解原型機的基礎上. 進行相應的設計和功能參數修改.
1 Electron gun part
The RHEED electron gun is an electron optical system specially designed for conducting diffraction studies with energies ranging from 10 to 3.0 keV. 通過組合靜電和磁性元件, 電子槍具有高亮度, 小斑點, 低分散和極低的放氣率. 電子槍可以完全安裝在空腔外部, 可就地維護, 可以烘烤. 如果配備差分選取系統,也可在高壓環境中使用.
2. Control Power Section
The compact design of the electron gun power control section that provides 30KeV energy is manufactured by the electronic components of . 電子槍的設定參數, 比如能源, 燈絲電流, 光束强度, 等., 可以以數位形式顯示在顯示器上, 和光束强度, 焦點位置, 等. 可以通過簡單的控制台進行遠程調整. 系統具有自診斷功能, 可以快速全面地檢查RHEED系統.
3. Electron beam diaphragm
The beam current can be switched on and off via the electron beam diaphragm, 這確保了樣品上的電子負載極低. 光圈開關訊號也可以同時由外部訊號觸發, 這使得RHEED能够在存在干擾磁場的情况下使用,並研究旋轉樣品.
4. Electron beam swing
For RHEED analysis, 電子束必須以掠射角入射到樣品上. 獨特的電子束搖擺特性允許在不移動樣品的情况下調整和改變電子束入射角. This feature is very useful when performing analytical tests on samples in fixed positions
5. Differential extraction system
Conventional electron guns are designed to work under higher pressure conditions such as 10-4 torr, 但這不可避免地導致燈絲壽命縮短. RHEED系統可選擇差動萃取系統,確保在存在高壓和反應性氣體的情况下正常運行. 與其他系統相比,高效選取燈絲部分使RHEED系統具有無與倫比的靈活性.
6. Computer Control
The RHEED system can be fully computer controlled. 電子槍控制部分包括介面模組和套裝軟體, 這確保了RHEED的靈活性和可重複性. 用戶設置的參數可以保存和調用, 電子束的開關可以由電子束孔徑控制, 電子束的入射角可以通過電子束搖擺特性進行調整.
7 Fluorescent screen
Screens are available in various sizes with very high spatial resolution and excellent contrast. 螢光屏上的鍍鋁保護塗層確保螢光屏具有良好的電接觸特性, 可以遮罩真空室中的自由光, 從而提高RHEED影像的對比度.
8. Data acquisition and analysis system
RHEED Vision is a set of very powerful data acquisition software that can be used with various existing RHEED systems. 它可以同時進行圖像處理和實时資料分析. 還有很多可選的數據簡化程式. 此外, 還提供了其他硬體控制模塊, 例如鎖相外延生長, 快門控制, 雷射脈衝觸發開啟 PCB板, 等.