Dieses Reflexions-Hochenergie-Elektronendiffraktometer wird von Shenzhen Century Core entwickelt, die sich auf Reverse Research und Entwicklung von Leiterplatte, etc., auf der Grundlage des Risses des ursprünglichen Prototyps. Entsprechende Design- und Funktionsparameter-Modifikation vornehmen.
1. Electron gun part
The RHEED electron gun is an electron optical system specially designed for conducting diffraction studies with energies ranging from 10 to 30 keV. Durch Kombination von elektrostatischen und magnetischen Komponenten, Die Elektronenkanone zeichnet sich durch hohe Helligkeit aus, kleine Flecken, geringe Dispersion und extrem niedrige Ausgasraten. Die Elektronenpistole kann komplett außerhalb des Hohlraums installiert werden, kann in situ gewartet werden, und kann gebacken werden. Es kann auch in Hochdruckumgebungen eingesetzt werden, wenn es mit einem Differenzabsaugsystem ausgestattet ist.
2. Control Power Section
The compact design of the electron gun power control section that provides 30KeV energy is manufactured by the electronic components of . Die Einstellparameter der Elektronenkanone, wie Energie, Glühlampenstrom, Strahlenintensität, etc., kann in digitaler Form auf dem Display angezeigt werden, und die Strahlintensität, Fokusposition, etc. kann über ein einfaches Bedienfeld aus der Ferne eingestellt werden. Das System verfügt über Selbstdiagnosefunktionen, das RHEED-System schnell und umfassend prüfen kann.
3. Electron beam diaphragm
The beam current can be switched on and off via the electron beam diaphragm, die extrem geringe Elektronenbelastung der Probe gewährleistet. Das Blendenschalter-Signal kann auch durch ein externes Signal gleichzeitig ausgelöst werden, Das RHEED kann in Gegenwart von störenden Magnetfeldern verwendet und rotierende Proben untersucht werden..
4. Electron beam swing
For RHEED analysis, Der Elektronenstrahl muss in einem Streifwinkel auf die Probe einfallen. Die einzigartige Elektronenstrahl-Schaukelfunktion ermöglicht Anpassung und Variation des Elektronenstrahleinfallswinkels, ohne die Probe zu bewegen. This feature is very useful when performing analytical tests on samples in fixed positions
5. Differential extraction system
Conventional electron guns are designed to work under higher pressure conditions such as 10-4 torr, aber dies führt zwangsläufig zu einer verkürzten Lebensdauer der Filamente. Das RHEED-System mit der Option einer Differenzabsaugung gewährleistet den Routinebetrieb bei Hochdruck- und Reaktivgasen. Effiziente Extraktion des Filamentabschnitts verleiht dem RHEED-System unvergleichliche Flexibilität im Vergleich zu anderen Systemen.
6. Computer Control
The RHEED system can be fully computer controlled. Die Elektronenkanonensteuerung umfasst ein Schnittstellenmodul und ein Softwarepaket, die Flexibilität und Wiederholbarkeit des RHEED gewährleistet. Die vom Benutzer eingestellten Parameter können gespeichert und abgerufen werden, Das Ein-Aus des Elektronenstrahls kann durch die Elektronenstrahlöffnung gesteuert werden, und der Einfallswinkel des Elektronenstrahls kann durch Verwendung der Elektronenstrahlschaukelfunktion justiert werden.
7. Fluorescent screen
Screens are available in various sizes with very high spatial resolution and excellent contrast. Die aluminisierte Schutzbeschichtung auf dem Leuchtstoffbildschirm sorgt dafür, dass der Leuchtstoffbildschirm sehr gute elektrische Kontakteigenschaften aufweist, und kann etwas freies Licht von der Vakuumkammer abschirmen, wodurch der Kontrast des RHEED-Bildes verbessert wird.
8. Data acquisition and analysis system
RHEED Vision is a set of very powerful data acquisition software that can be used with various existing RHEED systems. Es kann Bildverarbeitung und Echtzeit-Datenanalyse gleichzeitig durchführen. Und es gibt viele optionale Programme zur Datenreduktion. Darüber hinaus, weitere Hardware-Steuerungsmodule sind ebenfalls vorhanden, wie phasengelocktes Epitaxiewachstum, Verschlusssteuerung, Laserpulsauslöser eingeschaltet Leiterplatte, etc.