Der grundlegende Zweck des elektrostatischen Schutzes besteht darin, die Gefahren zu verhindern oder zu minimieren, die durch die Mechanik und Entladungseffekte statischer Elektrizität während der Herstellung und Verwendung elektronischer Komponenten, Komponenten und Geräte verursacht werden. Um sicherzustellen, dass die Konstruktionsleistung und Nutzungsleistung von Komponenten, Komponenten und Geräten nicht durch statische Elektrizität beschädigt werden. Die Hauptform der elektrostatischen Gefahr in der Elektronikindustrie ist der plötzliche Ausfall und potenzielle Ausfall von Komponenten, die durch elektrostatische Entladung verursacht werden, die wiederum den Abbau oder Ausfall der gesamten Maschine verursacht. Daher sollte der Hauptzweck des elektrostatischen Schutzes und der Steuerung darin bestehen, elektrostatische Entladung zu steuern, das heißt, das Auftreten elektrostatischer Entladung zu verhindern oder die Energie der elektrostatischen Entladung unter die Schadensschwelle aller empfindlichen Geräte zu reduzieren. Im Prinzip. Elektrostatischer Schutz sollte von zwei Aspekten durchgeführt werden: Steuerung der Erzeugung statischer Elektrizität und Steuerung der Ableitung statischer Elektrizität. Die Steuerung der Erzeugung statischer Elektrizität dient hauptsächlich der Steuerung des Prozesses und der Auswahl der Materialien im Prozess; Die Steuerung der Ableitung statischer Elektrizität besteht hauptsächlich darin, statische Elektrizität schnell und sicher zu entladen und zu neutralisieren. Als Ergebnis der kombinierten Wirkung der beiden ist es möglich, dass der statische Strompegel die Sicherheitsgrenze nicht überschreitet und den Zweck des statischen Stromschutzes erreicht.
Elektrostatische Entladung kann Schäden am Gerät verursachen. Durch korrekte und geeignete elektrostatische Schutz- und Kontrollmaßnahmen und die Einrichtung eines elektrostatischen Schutzsystems kann jedoch das Auftreten elektrostatischer Entladungen beseitigt oder kontrolliert werden, und die Beschädigung der Komponenten kann minimiert werden.
Es gibt zwei grundlegende Ideen für den elektrostatischen Schutz und die Steuerung elektrostatisch empfindlicher Geräte:
1.Verhindern Sie die Akkumulation von statischer Elektrizität an dem Ort, an dem Erdung auftreten kann, ergreifen Sie bestimmte Maßnahmen, um die Erzeugung von elektrostatischer Entladung zu vermeiden oder zu verringern, oder nehmen Sie die Methode des "Erzeugens und Auslaufens" an, um die Akkumulation von elektrischer Ladung zu beseitigen, und steuern Sie die statische Ladung, um sie zu verhindern.
2.Die vorhandene Ladungsakkumulation kann schnell und zuverlässig beseitigt werden.
Im Produktionsprozess ist der Kern des elektrostatischen Schutzes die "statische Beseitigung". Zu diesem Zweck kann ein elektrostatischer kompletter Arbeitsbereich eingerichtet werden, das heißt, durch den Einsatz verschiedener antistatischer Produkte und Geräte und verschiedener antistatischer Maßnahmen wird die elektrostatische Spannung, die in dem Bereich erzeugt werden kann, unter dem Schwellenwert gehalten, der für die empfindlichsten Geräte sicher ist.
Die grundlegenden Wege sind:
1.Verfahren zur Prozesskontrolle. Das Prozessleitverfahren zielt darauf ab, während des Probeproduktionsprozesses möglichst wenig statische Ladung zu erzeugen. Aus diesem Grund sollten Maßnahmen aus den Aspekten des Prozessflusses, der Materialauswahl, der Geräteinstallation und des Betriebsmanagements ergriffen werden, um die Erzeugung und Akkumulation statischer Elektrizität zu steuern und die Fähigkeit des elektrostatischen Potentials und der elektrostatischen Entladung zu unterdrücken, damit sie das Ausmaß des Schadens nicht überschreitet. Zum Beispiel muss im Halbleiterfertigungsprozess, nachdem der flache Verbindungsbildungsprozess der Hochgeschwindigkeitseinrichtung abgeschlossen ist, der Widerstand des zum Spülen verwendeten deionisierten Wassers kontrolliert werden. Obwohl je höher der Widerstand, desto besser die Reinigungswirkung, aber je höher der Widerstand und je besser die Isolierung, desto höher die statische Elektrizität, die auf dem Chip erzeugt wird. Daher sollte es in der Regel auf einem Niveau, das etwas höher als acht MΩ, anstelle des 16-17 MΩ kontrolliert werden, das im Anfangsprozess verwendet wird. Auch bei der Materialauswahl sollten für Verpackungsmaterialien antistatische Materialien verwendet und unbehandelte Polymermaterialien möglichst vermieden werden.
2.Leckage-Verfahren. Die Leckage-Methode zielt darauf ab, statische Elektrizität durch Leckage zu beseitigen. Elektrostatische Erdung wird normalerweise verwendet, um elektrische Ladungen an den Boden zu lecken. Es gibt auch Methoden, um die Leitfähigkeit des Objekts zu erhöhen, um den Boden entlang der Oberfläche des Objekts oder durch das Innere undicht zu machen, wie Hinzufügen von elektrostatischen Mitteln oder Befeuchtung. Die häufigsten sind antistatische Handgelenkgurte und elektrostatische Erdungsstützen, die von Arbeitern getragen werden.
3.Elektrostatische Abschirmung. Nach dem Prinzip der elektrostatischen Abschirmung kann es in interne Feldabschirmung und externe Feldabschirmung unterteilt werden. Die spezifische Maßnahme besteht darin, den geladenen Körper von anderen Objekten mit einem geerdeten Schild zu isolieren, so dass das elektrische Feld des geladenen Körpers andere umgebende Objekte nicht beeinflusst (Infield-Abschirmung); Manchmal wird die geschirmte Abdeckung auch verwendet, um das isolierte Objekt zu umgeben, um es zu machen. Um den Einfluss des externen elektrischen Feldes (externe Feldabschirmung) zu vermeiden, wie GaAs-Geräteverpackungen nehmen meist Metallkasten oder Metallfolie an.
4.Compound Neutralisationsverfahren. Das Compound Neutralisationsverfahren zielt darauf ab, statische Ladungen durch Compound Neutralisation zu beseitigen. Normalerweise wird der Erdungsabscheider verwendet, um Ionen mit verschiedenen Ladungen zu erzeugen, um mit den Ladungen auf dem geladenen Körper zu rekombinieren, um den Zweck der Neutralisierung zu erreichen. Im Allgemeinen, wenn der geladene Körper ein Isolator ist, da die elektrische Ladung nicht auf dem Isolator fließen kann, kann das Erdungsverfahren nicht verwendet werden, um die elektrische Ladung zu lecken. Zu diesem Zeitpunkt muss ein statischer Eliminator verwendet werden, um das Gegenzeichen Ion zu erzeugen, um es zu neutralisieren.
5.Sanierungsmaßnahmen. Die Reinigungsmaßnahmen sind so konzipiert, dass das Phänomen der Spitzenentladung vermieden wird. Aus diesem Grund sollte die Oberfläche von geladenen Gegenständen und umgebenden Gegenständen so glatt und sauber wie möglich gehalten werden, um die Möglichkeit der Spitzenentladung zu verringern.