Mikrofon MEMS( Sistem Mikro Elektromekanikal) adalah mikrofon berdasarkan teknologi substrat MEMS IC. Letakkan saja, kondensator disertai pada cip silikon mikro, yang diletak pada substrat IC dengan ASIC yang sesuai melalui proses penyelesaian permukaan. Akhirnya, ia dikumpulkan dengan menutupi shell. Gambar berikut menunjukkan struktur pakej mikrofon MEMS biasa. Compared with traditional ECM microphones, MEMS microphones have the following advantages: A. Surface mount, fully automated production, high production efficiency and good consistency of product performance; . B. Boleh tahan suhu reflow di atas 250 darjah Celsius, kebumitan operasi dan julat suhu operasi lebih besar daripada mikrofon ECM; . C. Ia juga telah meningkatkan prestasi penghapusan bunyi dan penghalangan RF dan EMI yang baik.
Bahan pakej mikrofon MEMS melibatkan terutamanya cip MEMS, cip ASIC, substrat IC PCB, shell logam, pasta cip MEMS dan gel silika berwarna ASIC, pasta cip ASIC, sirkuit menyambung wayar emas umum, pasta solder untuk shell logam dan penyelamatan substrat PCB. Berikut adalah gambar bahan pakej mikrofon MEMS. Perlu dicatat bahawa disebabkan struktur istimewa cip MEMS, perhatian istimewa perlu diberikan kepada pemilihan lem melekat, iaitu, untuk memperhatikan kesukaran dan modulus pencucian Young, untuk memastikan cip MEMS mempunyai tekanan rendah, untuk mengelakkan kesan tekanan yang disebabkan kepekatan mikrofon MEMS.
Struktur cip MEMS menentukan bahawa pakej substrat IC cip MEMS akan dibezakan, dan satu produk akan sepadan dengan satu jenis pakej, jadi tiada seorang syarikat boleh meliputi keseluruhan semua pakej substrat sensor MEMS I C. Proses pembekalan mikrofon MEMS meliputi terutamanya: - Lekat Chip, garis penyelut wayar emas, cip perlindungan gluing titik, penyelut shell, penandaan laser, skrip, pembekalan dan proses lain. Proses encapsulasi dipaparkan dalam figur di bawah. @ info: whatsthis Dalam perlukan nota istimewa adalah kerana struktur membran mikrofon MEMS pengaruh persekitaran unik pada badan asing pada prestasi produk, dan proses pakej, termasuk badan manusia, adalah debu atau pembawa asing, cip sangat mudah untuk mencemarkan, pakej lengkap akan dilakukan di workshop pembersihan ribuan gred, - pekerjaan rumah pekerjaan nombor peraturan yang ketat.