L'objectif fondamental de la protection électrostatique est de prévenir ou de minimiser les risques causés par les effets mécaniques et de décharge de l'électricité statique lors de la fabrication et de l'utilisation de composants, composants et équipements électroniques. S'assurer que les performances de conception et d'utilisation des composants, des composants et de l'équipement ne sont pas endommagées par l'électricité statique. La principale forme de danger électrostatique dans l'industrie électronique est la défaillance soudaine et la défaillance potentielle des composants causés par des décharges électrostatiques, ce qui entraîne une dégradation ou une défaillance de l'ensemble de la machine. L'objectif principal de la protection et du contrôle électrostatiques devrait donc être de contrôler les décharges électrostatiques, c'est - à - dire d'empêcher leur apparition ou de réduire l'énergie des décharges électrostatiques en dessous du seuil d'endommagement de tous les équipements sensibles. En principe. La protection électrostatique doit être réalisée de deux façons: contrôler la production d'électricité statique et contrôler sa dissipation. Contrôler la production d'électricité statique est principalement le processus de contrôle et le choix des matériaux dans le processus; Le contrôle de la dissipation de l'électricité statique consiste principalement à décharger et neutraliser l'électricité statique rapidement et en toute sécurité. En raison de l'action combinée des deux, il est possible que le niveau d'électricité statique ne dépasse pas les limites de sécurité pour atteindre le but de l'antistatique.
Les décharges électrostatiques peuvent endommager l'appareil. Cependant, en adoptant des mesures de protection et de contrôle électrostatiques correctes et appropriées, la mise en place d'un système de protection électrostatique permet d'éliminer ou de contrôler l'apparition de décharges électrostatiques et de minimiser les dommages aux composants.
Il existe deux idées de base pour la protection et le contrôle électrostatiques des appareils électrosensibles:
1. Empêcher l'accumulation d'électricité statique dans les endroits où la mise à la terre peut se produire, prendre certaines mesures pour éviter ou réduire la production de décharges électrostatiques, ou utiliser la méthode de « génération et fuite» pour éliminer l'accumulation de charge et contrôler l'électricité statique pour éviter qu'elle ne se produise.
2. L'accumulation de charge existante peut être éliminée rapidement et de manière fiable.
Au cœur du processus de production, la protection électrostatique est « l'élimination de l'électricité statique». A cet effet, il est possible de réaliser une zone de travail électrostatiquement complète, c'est - à - dire de maintenir la tension électrostatique susceptible d'être générée dans cette zone en dessous d'un seuil de sécurité pour les équipements les plus sensibles, grâce à l'utilisation de divers produits et équipements antistatiques, ainsi que de diverses mesures antistatiques.
La méthode de base est:
1. Méthode de contrôle de processus. Les méthodes de contrôle de processus visent à produire le moins d'électricité statique possible pendant la production pilote. Par conséquent, des mesures devraient être prises en ce qui concerne les processus technologiques, le choix des matériaux, l'installation de l'équipement et la gestion de l'exploitation, entre autres, pour contrôler la production et l'accumulation d'électricité statique et supprimer la capacité de potentiel électrostatique et de décharge électrostatique afin qu'ils ne dépassent pas le niveau de danger. Par example, lors de la fabrication de semi - conducteurs, la résistivité de l'eau désionisée utilisée pour le rinçage doit être contrôlée après l'achèvement du processus de formation de jonction peu profonde du dispositif à grande vitesse. Alors que plus la résistivité est élevée, meilleur est le nettoyage, plus la résistivité est élevée, meilleure est l'isolation, plus l'électricité statique générée sur la puce est élevée. Par conséquent, il devrait normalement être contrôlé à un niveau légèrement supérieur à 8 m au lieu des 16 - 17 m utilisés dans le processus initial. En outre, en ce qui concerne le choix des matériaux, les matériaux d'emballage doivent être antistatiques et les matériaux polymères non traités doivent être évités autant que possible.
2. Méthode de fuite. La méthode de fuite d'électricité vise à éliminer l'électricité statique par fuite d'électricité. La mise à la terre électrostatique est généralement utilisée pour faire fuir des charges électriques vers le sol. Il existe également des moyens d'augmenter la conductivité électrique d'un objet, de faire fuir le sol le long de la surface de l'objet ou à travers l'intérieur, tels que l'ajout d'un agent électrostatique ou l'humidification. Les plus courants sont les bracelets antistatiques et les poteaux de mise à la terre électrostatiques portés par les travailleurs.
3. Méthode de blindage électrostatique. Selon le principe du blindage électrostatique, il peut être divisé en blindage de champ intérieur et blindage de champ extérieur. La mesure spécifique est d'isoler le corps chargé des autres objets avec un blindage de terre de sorte que le champ électrique du corps chargé n'affecte pas les autres objets environnants (blindage de champ intérieur); Parfois, les écrans de blindage sont également utilisés pour entourer des objets isolés, les protégeant des champs électriques externes (blindage de champ externe), comme les boîtiers de dispositifs GaAs qui utilisent principalement des boîtes métalliques ou des films métalliques.
4. Méthode de neutralisation des composés. La méthode de neutralisation de composés vise à éliminer l'électricité statique par neutralisation de composés. Généralement, les éliminateurs à la terre sont utilisés pour générer des ions de différentes charges, se complexant avec les charges sur le corps chargé, dans le but de neutraliser. D'une manière générale, lorsque le corps chargé est un isolant, il n'est pas possible d'utiliser la méthode de mise à la terre pour la fuite de la charge, car la charge ne peut pas circuler sur l'isolant; à ce stade, il est nécessaire d'utiliser un éliminateur électrostatique pour produire des ions de signes opposés pour la neutraliser; cette méthode est utilisée, par example, pour éliminer l'électricité statique produite sur la bande transporteuse de la ligne de production.
5. Mesures de nettoyage. Les mesures de nettoyage visent à éviter le phénomène de décharge de la pointe. Par conséquent, la surface de l'objet chargé et des objets environnants doit être maintenue aussi lisse et propre que possible afin de réduire la possibilité de décharge de la pointe.