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Questo diffrattometro elettronico ad alta energia di riflessione è sviluppato dal nucleo del secolo di Shenzhen, che si concentra sulla ricerca inversa e lo sviluppo di Scheda PCB, ecc., sulla base della rottura del prototipo originale. Rendere la progettazione corrispondente e la modifica dei parametri funzionali.
1. Electron gun part
The RHEED electron gun is an electron optical system specially designed for conducting diffraction studies with energies ranging from 10 to 30 keV. Combinando componenti elettrostatici e magnetici, la pistola elettronica presenta alta luminosità, piccole macchie, bassa dispersione e tassi di uscita estremamente bassi. La pistola elettronica può essere completamente installata fuori dalla cavità, può essere mantenuto in situ, e può essere cotto. Può essere utilizzato anche in ambienti ad alta pressione se dotato di un sistema di estrazione differenziale.
2. Control Power Section
The compact design of the electron gun power control section that provides 30KeV energy is manufactured by the electronic components of . I parametri di impostazione della pistola elettronica, come l'energia, corrente del filamento, intensità del fascio, ecc., può essere visualizzato sul display in forma digitale, e l'intensità del fascio, Posizione di messa a fuoco, ecc. Regolabile da remoto tramite un semplice pannello di controllo. Il sistema ha capacità autodiagnostiche, che può controllare rapidamente e in modo completo il sistema RHEED.
3. Electron beam diaphragm
The beam current can be switched on and off via the electron beam diaphragm, che assicura un carico elettronico estremamente basso sul campione. Il segnale dell'interruttore dell'apertura può anche essere attivato da un segnale esterno allo stesso tempo, che permette di utilizzare il RHEED in presenza di campi magnetici interferenti e di studiare campioni rotanti.
4. Electron beam swing
For RHEED analysis, il fascio di elettroni deve essere incidente sul campione ad un angolo di pascolo. La caratteristica unica di oscillazione del fascio elettronico consente la regolazione e la variazione dell'angolo di incidenza del fascio elettronico senza spostare il campione. This feature is very useful when performing analytical tests on samples in fixed positions
5. Differential extraction system
Conventional electron guns are designed to work under higher pressure conditions such as 10-4 torr, ma ciò comporta inevitabilmente una durata ridotta del filamento. Il sistema RHEED con l'opzione di un sistema di estrazione differenziale assicura il funzionamento di routine in presenza di gas ad alta pressione e reattivi. L'estrazione efficiente della sezione del filamento conferisce al sistema RHEED una flessibilità ineguagliabile rispetto ad altri sistemi.
6. Computer Control
The RHEED system can be fully computer controlled. La parte di controllo della pistola elettronica include un modulo di interfaccia e un pacchetto software, che garantisce la flessibilità e la ripetibilità del RHEED. I parametri impostati dall'utente possono essere salvati e richiamati, l'on-off del fascio di elettroni può essere controllato dall'apertura del fascio di elettroni, e l'angolo incidente del fascio di elettroni può essere regolato utilizzando la caratteristica di oscillazione del fascio di elettroni.
7. Fluorescent screen
Screens are available in various sizes with very high spatial resolution and excellent contrast. Il rivestimento protettivo aluminizzato sullo schermo fluorescente assicura che lo schermo fluorescente abbia ottime caratteristiche di contatto elettrico, e può schermare un po 'di luce libera dalla camera di vuoto, migliorando così il contrasto dell'immagine RHEED.
8. Data acquisition and analysis system
RHEED Vision is a set of very powerful data acquisition software that can be used with various existing RHEED systems. Può eseguire l'elaborazione delle immagini e l'analisi dei dati in tempo reale allo stesso tempo. E ci sono un sacco di programmi opzionali di riduzione dei dati. Inoltre, Sono forniti anche altri moduli di controllo hardware, come la crescita dell'epitassia bloccata in fase, Controllo otturatore, Attivazione dell'impulso laser Scheda PCB, ecc.
