Les amis qui se soucient du développement de l'industrie des semi - conducteurs dans leur pays d'origine peuvent souvent voir des nouvelles sur les machines de lithographie haut de gamme coincées. Pourquoi les opportunités de lithographie haut de gamme stagnent - elles? Une des raisons est la planéité de la lentille des machines de lithographie haut de gamme.
Les machines de lithographie EUV haut de gamme ont des exigences particulièrement élevées en matière de planéité des lentilles. On dit que la rugosité de surface des miroirs multicouches fournis par Zeiss peut être contrôlée jusqu'à 1 mm au - dessus du niveau de la mer si l'on compare la surface du miroir à celle de l'Allemagne. Actuellement, seule la société allemande Zeiss est en mesure d'atteindre cette planéité. C'est une des raisons pour lesquelles nous sommes en difficulté.
La lentille de la machine de lithographie a des exigences de planéité, de sorte que la carte PCB en tant que composant de base de diverses technologies de pointe, a également des exigences de planéité. Cependant, les exigences de planéité de la carte PCB sont loin d'être aussi élevées par rapport à la planéité de la lentille d'une machine de lithographie EUV haut de gamme.
Jetons un coup d'oeil au concept et aux problèmes de contrôle de la qualité de la planéité de la carte PCB.
La planéité d'une carte de circuit imprimé est déterminée par deux caractéristiques du produit: la flexion et la torsion.
L'état de flexion est déterminé en plaçant les quatre coins de la plaque d'impression sur un même plan, sensiblement cylindrique ou sphérique.
La torsion est une déformation de la touche parallèlement à la diagonale de la plaque et un coin de la plaque n'est pas dans le même plan que les trois autres coins. La plaque d'impression circulaire ou ovale doit évaluer le déplacement vertical du point le plus élevé. La flexion et la torsion peuvent être affectées par la conception du PCB, car différents câblages ou structures de PCB multicouches peuvent entraîner des contraintes ou des conditions de libération de contraintes différentes. L'épaisseur et les caractéristiques matérielles de la plaque d'impression sont d'autres facteurs qui influent sur la planéité de la plaque d'impression.
La flexion, la torsion ou une combinaison de celles - ci doivent être mesurées conformément à la méthode de mesure physique et le pourcentage doit être calculé conformément à la méthode d'essai 2.4.22 de la CIB - TM - 650, à la machine de mesure des coordonnées (MMT) ou à une méthode équivalente. Les plaques finies doivent être évaluées en fonction de l'état reçu. Pour les produits assemblés, les exigences de flexion et de torsion doivent être déterminées par le fabricant de PCB en consultation avec le client.
Conditions acceptables niveau 3, 2, 1
Pour les plaques imprimées PCB utilisant des composants montés en surface, la flexion et la torsion doivent être inférieures ou égales à 0,75%.
Pour toutes les autres plaques imprimées, la flexion et la torsion doivent être inférieures ou égales à 1,50%.
Niveaux non admissibles 3, 2, 1
Les défauts ne satisfont pas ou dépassent les exigences ci - dessus.
Notes 1 et 2: déviation par rapport à la surface.
Note 3: l'arc
Note 4: la force est appliquée aux deux coins du même côté.