Le diffractomètre électronique à haute énergie réfléchissant a été développé par Shenzhen Century Core, Il se concentre sur la recherche et le développement inversés PCB board, Attendez.., Sur la base de l'analyse des prototypes originaux. Modifier les paramètres de conception et de fonction correspondants.
1.. Electron gun part
The RHEED electron gun is an electron optical system specially designed for conducting diffraction studies with energies ranging from 10 to 3.0 keV. En combinant des composants électrostatiques et magnétiques, Le canon électronique est caractérisé par une luminosité élevée, Taches, Faible dispersion et très faible taux d'échappement. Le canon électronique peut être entièrement monté à l'extérieur de la cavité, Entretien local possible, Et peut être cuit. Peut également être utilisé dans des environnements à haute pression s'il est équipé d'un système d'extraction différentielle.
2.. Control Power Section
The compact design of the electron gun power control section that provides 30KeV energy is manufactured by the electronic components of . Paramètres de réglage du canon électronique, Par exemple, l'énergie, Courant de filament, Intensité du faisceau, Attendez.., Peut être affiché numériquement sur l'écran, Et l'intensité du faisceau, Point focal, Attendez.. Réglage à distance via un panneau de commande simple. Le système a une fonction d'autodiagnostic, Le système RHEED peut être vérifié rapidement et complètement.
3. Electron beam diaphragm
The beam current can be switched on and off via the electron beam diaphragm, Cela garantit une très faible charge électronique sur l'échantillon. Le signal de l'interrupteur d'ouverture peut également être déclenché simultanément par un signal externe, Cela permet d'utiliser RHEED en présence d'un champ magnétique perturbateur et d'étudier les échantillons rotatifs..
4.. Electron beam swing
For RHEED analysis, Le faisceau d'électrons doit être incident sur l'échantillon à l'angle d'incidence du broutage.. Les caractéristiques uniques du balancement du faisceau d'électrons permettent de régler et de modifier l'angle d'incidence du faisceau d'électrons sans déplacer l'échantillon.. This feature is very useful when performing analytical tests on samples in fixed positions
5. Differential extraction system
Conventional electron guns are designed to work under higher pressure conditions such as 10-4 torr, Mais cela réduit inévitablement la durée de vie du filament. Le système RHEED peut choisir un système d'extraction de pression différentielle pour assurer un fonctionnement normal en présence de haute pression et de gaz de réaction.. L'extraction efficace de la section transversale du filament offre une flexibilité inégalée par rapport aux autres systèmes.
6.. Computer Control
The RHEED system can be fully computer controlled. La partie de contrôle du canon électronique comprend le module d'interface et le progiciel, Cela assure la flexibilité et la répétabilité des RHEED. Les paramètres définis par l'utilisateur peuvent être enregistrés et appelés, L'ouverture / fermeture du faisceau d'électrons peut être contrôlée par l'ouverture du faisceau d'électrons, L'angle d'incidence du faisceau d'électrons peut être ajusté en fonction des caractéristiques de balancement du faisceau d'électrons..
7.. Fluorescent screen
Screens are available in various sizes with very high spatial resolution and excellent contrast. Le revêtement de protection aluminisé sur l'écran fluorescent assure un très bon contact électrique, Et peut bloquer une partie de la lumière libre de la chambre à vide, Pour augmenter le contraste de l'image RHEED.
8.. Data acquisition and analysis system
RHEED Vision is a set of very powerful data acquisition software that can be used with various existing RHEED systems. Il peut simultanément traiter des images et analyser des données en temps réel. Il y a beaucoup d'options de réduction des données. En outre, D'autres modules de contrôle du matériel sont également disponibles, Par exemple, croissance épitaxique verrouillée en phase, Commande de l'obturateur, Déclenchement de l'impulsion laser PCB board, Attendez..